色欲av无码一区二区三区,俄罗斯处破女a片出血,大炕上的肉体交换农村乱睡,含着她的花蒂咬到高潮

技術(shù)文章

Technical articles

當(dāng)前位置:首頁技術(shù)文章其實(shí),你并不了解小型濺射儀

其實(shí),你并不了解小型濺射儀

更新時(shí)間:2022-04-26點(diǎn)擊次數(shù):1468
  小型濺射儀的工作原理是指電子在電場(chǎng)E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞,使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場(chǎng)作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產(chǎn)生的二次電子會(huì)受到電場(chǎng)和磁場(chǎng)作用,產(chǎn)生E(電場(chǎng))×B(磁場(chǎng))所指的方向漂移,簡(jiǎn)稱E×B漂移,其運(yùn)動(dòng)軌跡近似一條擺線。
 
  若為環(huán)形磁場(chǎng),則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運(yùn)動(dòng),它們的運(yùn)動(dòng)路徑不僅很長,而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內(nèi),并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar來轟擊靶材,從而實(shí)現(xiàn)了高的沉積速率。隨著碰撞次數(shù)的增加,二次電子的能量消耗殆盡,逐漸遠(yuǎn)離靶表面,并在電場(chǎng)E的作用下沉積在基片上。由于該電子的能量很低,傳遞給基片的能量很小,致使基片溫升較低。
 
  小型濺射儀包括:氣路、真空系統(tǒng)、循環(huán)水冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)。其中:
 
  (1)氣路系統(tǒng):與PECVD系統(tǒng)類似,磁控濺射系統(tǒng)應(yīng)包括一套完整的氣路系統(tǒng)。但是,與PECVD系統(tǒng)不同的是,PECVD系統(tǒng)中,氣路中為反應(yīng)氣體的通道。而磁控濺射系統(tǒng)氣路中一般為Ar、N2等氣體。這些氣體并不參與成膜,而是通過發(fā)生輝光放電現(xiàn)象將靶材原子轟擊下來,使靶材原子獲得能量沉積到襯底上成膜。
 
  (2)真空系統(tǒng):與PECVD系統(tǒng)類似,磁控濺射沉積薄膜前需要將真空腔室抽至高真空。因此,其真空系統(tǒng)也包括機(jī)械泵、分子泵這一高真空系統(tǒng)。
 
  (3)循環(huán)水冷卻系統(tǒng):工作過程中,一些易發(fā)熱部件(如分子泵)需要使用循環(huán)水帶走熱量進(jìn)行冷卻,以防止部件損壞。
 
  (4)控制系統(tǒng):綜合控制PECVD系統(tǒng)各部分協(xié)調(diào)運(yùn)轉(zhuǎn)完成薄膜沉積,一般集成與控制柜。
亚洲av无码一区二区三区观看| 人性情感短片视频高清| 军人全身脱精光自慰| 欧美人妻一区黄a片| 亚洲av在线观看| 巨粗进入警花哭喊求饶| 在厨房我撕开岳的丁字裤| 亚洲精品在线| 日本三级韩国三级韩级| 99热在线观看| 国产精品久久久久久久9999| 折磨女性私密的100种方法 | 亚洲精品色情app在线下载观看| 歪歪漫画网免费版在线观看| 精品无人乱码一区二区三区| 性xxxxfreexxxxx| 一本色道久久综合亚洲精品| 妽妽的下边好紧春雨医生| 性少妇jealousvue成熟| A片欧美激情肉欲高潮| 国产日产久久高清欧美一区| 日本无码蜜桃波多野结衣| 被医生绑在妇科椅调教| 18禁喷水流白浆自慰视噜噜噜| 粗大浓稠硕大噗嗤噗嗤h| 含着她的花蒂咬到高潮| 久久久久精品| caoporen免费精品视频| 欧美又大粗又爽又黄大片视频| 日本一区二三区好的精华液| 水蜜桃av无码| 337P日本欧洲亚洲大胆张筱雨| 男人手伸进我内衣揉我胸到爽| 国偷自产av一区二区三区123| 各种姿势被学长np高h明星鼓励| 惩罚她给她用最粗的玉势h| 人妻女教师耻辱の教室| 30岁少妇一摸就出水| 校花醉酒后被乞丐进入| 亚洲av无码无在线观看红杏| 蜜桃成熟时 电影|